河南省超高純硅材料工程研究中心于2016 年獲批復(fù)建設(shè)成立，圍繞硅材料重點(diǎn)和難點(diǎn)問(wèn)題，研究實(shí)驗(yàn)開(kāi)發(fā)超高純材料制備關(guān)鍵工藝技術(shù)（ 含系統(tǒng)的節(jié)能技術(shù)、環(huán)保技術(shù)）和核心裝備技術(shù)，開(kāi)展相關(guān)硅產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)優(yōu)化升級(jí)的新理論、新技術(shù)、新工藝、新裝備研發(fā)，培養(yǎng)產(chǎn)業(yè)工程設(shè)計(jì)技術(shù)創(chuàng)新人才，促進(jìn)重大科技成果應(yīng)用，建立硅產(chǎn)業(yè)各領(lǐng)域系統(tǒng)的技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范，為超高純產(chǎn)業(yè)發(fā)展提供有力支撐。本中心依托中硅高科的電子功能材料研發(fā)平臺(tái)組建，通過(guò)對(duì)綜合研究開(kāi)發(fā)樓進(jìn)行環(huán)境優(yōu)化提升，建設(shè)了4個(gè)試驗(yàn)平臺(tái)和1個(gè)綜合測(cè)試分析中心，包括：硅基電子氣體試驗(yàn)平臺(tái)、光纖四氯化硅試驗(yàn)平臺(tái)、硅烷試驗(yàn)平臺(tái)、超高純多晶硅試驗(yàn)平臺(tái)和綜合測(cè)試分析中心。以打造國(guó)內(nèi)硅基材料產(chǎn)業(yè)關(guān)鍵技術(shù)供給、促進(jìn)硅產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)跨越式發(fā)展為目標(biāo)，以硅材料工程設(shè)計(jì)自主創(chuàng)新、提升硅產(chǎn)業(yè)持續(xù)發(fā)展能力為重要源頭，累計(jì)投入建設(shè)資金6562.85萬(wàn)元，配備試驗(yàn)線所需高純?cè)O(shè)備、管線、充裝、儲(chǔ)存、檢測(cè)設(shè)備300余臺(tái)套。
