硅基材料制備技術(shù)國家工程研究中心于2008年11月28日發(fā)改辦高技【2008】2645號(hào)文件批復(fù)建立，2012年8月10日驗(yàn)收通過，2021年7月納入新序列。
工程研究中心以集成電路、新能源、高端陶瓷及光通信產(chǎn)業(yè)發(fā)展所需硅基材料為主要研究方向，致力于解決制約我國硅基材料研發(fā)的重大瓶頸技術(shù)問題，采用理論研究、模擬計(jì)算、實(shí)驗(yàn)論證、產(chǎn)業(yè)化驗(yàn)證等方法，重點(diǎn)圍繞多晶硅衍生電子化學(xué)品制備、多晶硅高效氣相沉積、多晶硅深加工、硅基電子功能材料制備、硅基新能源材料制備、超高純產(chǎn)品后處理、高純產(chǎn)品測試分析等開展核心工藝技術(shù)和關(guān)鍵裝備的攻關(guān)研究，切實(shí)為實(shí)現(xiàn)硅基材料關(guān)鍵核心技術(shù)自主可控、提升產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)鏈現(xiàn)代化水平、推動(dòng)高質(zhì)量發(fā)展提供堅(jiān)實(shí)技術(shù)保障。
工程中心以“打造硅基材料創(chuàng)新發(fā)展國家隊(duì)”戰(zhàn)略思想為指導(dǎo)，積極響應(yīng)國家號(hào)召，組建先進(jìn)硅基材料集群技術(shù)研究與應(yīng)用創(chuàng)新團(tuán)隊(duì)，積極投身國家集成電路及新能源產(chǎn)業(yè)發(fā)展事業(yè)。目前工程中心共計(jì)252人，涵蓋材料、化工、機(jī)械、裝備、質(zhì)量控制、分析測試、儀表自動(dòng)化、數(shù)學(xué)建模等專業(yè)，其中包括國家專項(xiàng)津貼獲得者3名，博士以上學(xué)歷人員52名。形成了擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的硅基材料集群制備技術(shù)，先后獲得國家科技進(jìn)步二等獎(jiǎng)、國家發(fā)明專利金獎(jiǎng)、河南省科技進(jìn)步一等獎(jiǎng)等40余項(xiàng)獎(jiǎng)勵(lì)，為推動(dòng)中國硅基材料產(chǎn)業(yè)自主發(fā)展做出了卓越貢獻(xiàn)。先后培養(yǎng)了“國家百千萬人才突出貢獻(xiàn)中青年專家”、“有色金屬行業(yè)設(shè)計(jì)大師”、“中華杰出青年工程師”、“中原學(xué)者”、“河南省學(xué)術(shù)技術(shù)帶頭人”、“河南省科技創(chuàng)新杰出人才”等一批高層次人才，為持續(xù)創(chuàng)新提供了源動(dòng)力。
